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微波退火
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在GaN中实现注入--技术文章频道 - 化合物半导体
直到最近,从事氮化镓工作的工程师工具箱中有一个明显的遗漏:没有离子注入工艺。但由于美国和波兰的一个团队开发了一种涉及镁掺杂剂超高压退火的工艺 ...
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