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微波退火
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國立陽明交通大學機構典藏:低溫微波退火應用之研究
在本研究中將介紹新穎的低溫微波退火(microwave annealing)技術,並且分析微波退火與傳統高溫退火的應用比較。因為在活化製程上,微波有別於傳統的快速退火方式,它 ...
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