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微機電系統概論
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微機電系統(MEMS)
微機電系統 (MEMS). MEMS 元件擴大使用範圍(包括加速度計、陀螺儀和麥克風等應用),成為行動、汽車和醫療設備市場持續轉型的主要動力。隨著多功能的發展,或「組合」感 ...
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