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奈，微機電系統在交大 - 9lib TW

2 3 Oc tober 2005. NCTU Mechanical Engineering. 微. 機電系統（Micro-Electro-Mechanical Systems ），簡稱MEMS ，不論在國內外，皆是蓬勃地發展，近年更已成為機械 ...

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