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微機電系統概論 - 成功大學郵件信箱

微機電系統 （MEMS）是目前科技界認為具未來發展潛力及前瞻性的研究領域應用，微機電乃在積體電路相關材料與製程的基礎上，整合光學，機系與電子電機技術所發展微細的 ...

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