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微機電系統概論
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國立台灣師範大學工業教育學系課程綱要表
此外,本課程亦將介紹奈米工程的內容與其對未來科技的影響。 貳、預定教學進度. 1. 微機電系統概論. 2. 微/奈米尺度物理. 3. VLSI製程技術. 4. 微機電製程技術分析.
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