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微影製程原理
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關於黃光及其100個疑問,這篇文章已全面解答 - 每日頭條
由於微影製程的環境是採用黃光照明而非一般攝影暗房的紅光,所以這一部份的 ... 答:PSM (Phase Shift Mask)不同於Cr mask, 利用相位干涉原理成象, ...
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