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浸潤式微影壽命延長EUV恐無出頭天？ - Semi.org

當193奈米微影技術在半導體製程技術藍圖上已經接近終點，下一代應該是157 ... 原因，是因為奠基於經證實的浸潤式顯微鏡(immersion microscopy)原理。

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