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EUV是個什麼酷東西？ — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術

微影製程 (Lithography) 的本質就是讓光穿透光罩，把設計好的圖案映射在晶圓上面，因此我們會希望光在穿透光罩的過程中不要產生繞射，而讓原本的圖案變形。

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