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【他們其實有點像！ASML微影設備VS單眼反光相機 】...

我們可以把微影設備想像成一台巨大的單眼反光相機： 相機的原理：被拍攝物體被光線照射所 ... 機台採用錫的電漿，將微影製程中的光源波長縮短為

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