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挽救摩爾定律：ASML 極紫外光（EUV）微影技術量產的開發歷程

第二個報告宣布了2020 年量產的5 奈米世代將會有十幾層的製程用EUV 微影技術來完成，取代多於它四倍（四十幾層）的193 奈米浸潤式微影技術。

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