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紫外線基奈米壓印微影 - 應用科學系

半導體、光電元件之持續微小化. 4. 微影：製程和曝光系統. 微影製程 ... 把原形母模放在陰極上，利用電鍍原理沉積至適當的厚度，再使其與母模分離，此製程可用以生產 ...

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