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奈米世代微影技術之原理及應用 - CTIMES

再者，由於光學鏡片的設計與製作能力的提升，使得數值孔徑增加快速而可以符合解析度提升的要求。直到半導製程進步到0.25(m，其對應的曝光波長為248 nm準分子雷射光源；此一 ...

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