ULSI微影技術的延伸與極限. 1.3. 提升光學微影製程的技術. 1.4. 深次微米微影照像. 1.5. 電子束微影技術. 1.6. 光罩或圖規. 1.7. 阻劑和抗反射覆蓋. 1.8. 參考文獻.
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