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全方位微影技術介紹 - ASML

微影 系統本質上是一個投影系統，利用光線穿透印有電路圖的光罩，在矽晶片上投印出電路圖。 光罩上的電路圖是實際在晶片上呈現圖案的4倍大。透過光線投射出光罩上的圖案，微 ...

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