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Si衬底表面圆柱形抗反射周期微结构的设计及制作 - 红外与激光工程

通过MATLAB软件模拟仿真确定其最优参数组合,使反射率设计值为3%。应用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术制作了单面和双面的圆柱形微结构,根据结果得到射频功率、气体流量及 ...

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