高科技半導體廠房基於潔淨室塵粒(Particles). 控制的需求,在廠房設計中運用壓力將空氣當中的塵. 粒經由氣流穿過地板的圓洞(我們稱這樣的樓板叫. Cheese slab)並經由迴 ...
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