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具相位調制模組的低同調干涉儀__臺灣博碩士論文知識加值系統

其中相移量測模態則使用窄頻光源，使用五步相移原理，來量測塊規平行度；而相位掃描量測模態 ... 由1060μm厚塊規測得之厚度標準差為0.0112μm，平行度標準差為0.0134μm。

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