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壓電致動有閥微泵浦之設計與製作及其於電子散熱之應用

當要達成此目. 的，需要有最小的艙體及流道體積之設計並且產生最大的致動體積變形。 這幾年來，有很多文獻回顧[1-7]針對微泵浦的種類及原理、閥的設計、驅動方式 ...

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