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低耗能氣體感測器設計與製作方法

常見 的金屬氧化物半導體式氣體感測器形式為二維感測器由微加熱器所提. 供熱能，因加熱與感測電極同一道製程設計，造成中間較低溫外圍較高溫狀況，進而溫度分佈不均產生 ...

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