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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊

融後，以CZ 法生長矽單晶棒的作法，有可能造成晶體中出現差排（Dislocation） ... 程中可能產生的廢棄物之種類予以說明，以供相關人員從事廢棄物清理或資源再.

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