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半絕緣碳化矽晶圓發展現況 - 材料世界網

X光拓樸儀可將肉眼無法辨識之晶體缺陷藉由X光於晶體內繞射後之強弱進行成像，因此單晶晶體之缺陷如微管、差排環、小角度晶界等，皆可由XRT判別並計算 ...

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