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CN101859726B - 一种改善mosfet sti差排的方法

(1)在升降温时，由于氧化物和衬底之间的膨胀系数差会产生应力；. (2)STI的轮廓/深度会对所产生应力大小和分布有所影响。 目前半导体芯片一直向更 ...

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