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高崩潰電壓氮化鋁鎵/氮化鎵蕭基二極體之特性分析

... 顯示出氮化鋁緩衝層可有效地降低磊晶材料的螺旋差排密度以減少漏電流路徑。 ... 排缺陷密度至3.2×107 cm-2，相較於具氮化鎵緩衝層之結構約降低了一個數量級左右。

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