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薄膜熱傳導性質量測及其應用之研究

故本計畫研究期望釐清GST薄膜. 及其相變化之微觀熱物理特性（如熱傳導係數、界面熱阻等），以期了解PCM. 元件之熱穩定性。並利用即時交流阻抗分析（In-situ AC Impedance ...

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