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射頻原理
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射頻阻抗匹配器之專利分析
圖2-1 射頻阻抗匹配器對電漿腔體與射頻功率產生器的匹配示意圖 ... 在相位/振幅偵測器的偵測原理上,是偵測反射信號上的實部與虛部變化,並反應出一組正比於此信號的 ...
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