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射頻濺鍍機之製程與設備初步技術實習

本專題製作旨在明瞭半導體製程設備中，射頻濺鍍機的原理、操作方式及. 重要零件的技術內容。 ... 因為路茲幫浦各轉動元件間不直接觸，因此可以極高的速度運轉.

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