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光譜分析儀(Optical Emission Spectrometer, OES)

量差，射線可以使用波長來區分，因每一元素原子序及結構不同，所獲得射線種類及其. 光譜亦不同。光譜分析儀中所使用射線之波長介於170 nm 到800 nm，約有五萬多條.

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