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微机电系统封装 - 第 183 頁 - Google 圖書結果

不论 MEMS 以何种方式出现在航天系统中,它们的封装要求和形式主要由 MEMS ... 考察当前 MEMS 封装在非航天系统中的发展,以期获得未来航天 MEMS 系统可能的发展趋势。

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