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如何產生靜電
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製程靜電評估及防制結果
液晶製程的作業區域中,各作業步驟產生靜電的可能性為高者,主要為. 玻璃基材的持續接觸與分離、烘烤及加壓接合等,製程中的作業步驟包括入/. 出料、機械手臂吸取和放置、 ...
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