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台積電晶圓良率提升的秘密武器-奈米微粒監控系統 - i創科技

... 式製程中，晶圓表面的清洗、蝕刻與研磨皆需仰賴特定化學溶液進行，而溶液中奈米 ... 極限，一舉將可量測粒子尺寸範圍拉大為3～1,000 奈米，可望解決半導體製程持續 ...

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