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摩爾定律的下一步：半導體製造技術的變革新趨勢 - 北美智權

但就現階段來看，要藉由EUV實現7奈米以下微縮製程，仍有許多棘手的問題 ... 定律方向進行高集積度的IC元件設計，但7奈米以後物理極限問題會漸趨嚴重。

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