傳統浸潤式微影技術在半導體製程邁入1x奈米節點後將面臨物理極限,遂使EUV成為產業 ... 繼台積電宣布將分別於2015、2017年推出16和10奈米鰭式電晶體(FinFET)製程後,格 ...
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