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台積3奈米技術跨步| 產業熱點 - 經濟日報

台積電積極衝刺3奈米開發，預計2022年下半年量產，重要合作夥伴應用材料、新思 ... Barrier Seed IMS」 ，能促使先進邏輯晶片微縮到3奈米及更小尺寸。

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