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TWI514497B - 機台狀況定性監測方法及錯誤偵測分類系統

此種機台監測可以藉由錯誤偵測及分類(FDC)系統來完成，其在程序進行時監測機台， ... 一般而言，上述錯誤偵測及分類(FDC)系統60實施統計製程控制(SPC)以追蹤及分析製程 ...

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