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7奈米以下半導體製程FIB光束需升級「單顆原子」才夠力

新創團隊埃爾思科技傳承中央研究院物理研究所，累積30年的場發射技術，其創辦人張維哲博士及團隊，具有多年的單原子離子光源研發經驗，近期研發出光源尺寸 ...

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