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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊

7 -. 圖2.2-1 西門子式多晶矽的生產流程. 單晶成長程序最早被稱為一門「藝術」，因為想長出一根良好的矽晶棒（包. 括均勻的外徑、零差排等），需依賴操作者的經驗與 ...

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