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四點探針量測原理介紹
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https://books.google.com.tw/books?id=ALyzDwAAQBAJ&pg=PA53&lpg=PA53&dq=%E5%9B%9B%E9%BB%9E%E6%8E%A2%E9%87%9D%E9%87%8F%E6%B8%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E4%BB%8B%E7%B4%B9&source=bl&ots=AGqag6-Dmq&sig=ACfU3U1Gh7SLAoqklJnILrqzyP0XKIeeow&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwjv0f3IicH8AhXW0mEKHdwtCvYQ6AF6BQi6AhAD
新電子 10月號/2019 第403期 - 第 53 頁 - Google 圖書結果
圖4 晶圓級氣體感測器高效能點測系統外觀與次模組說明。 ... 以提供線陣列探針點測裝置之同一環境中其他物質之干擾時,除了使量調校對準及以定位Keys(晶圓上對位用之.
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