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名針探精準定位讓奈米電性量測找出缺陷 - TechNews 科技新報

而先進製程中的故障分析，對於研發與產能來說更是至關重大，但元件尺寸越做越小，如何在僅有數奈米的微小尺度下，進行電晶體的特性量測以及缺陷處定位則 ...

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