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修 平 科 技 大 學 電 子 工 程 系

由於銅鋁氧P 型靶材其電阻率高於N 型靶材3 至4 倍，使得 ... 2-1 設備介紹及原理. 圖(一)電子天秤 ... 四點探針的量測會造成晶圓表面之缺陷，因此只能用來量測測試晶圓.

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