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微電子65 奈米世代後銅薄膜阻抗係數之探討

3.3 實驗儀器原理介紹. ... 圖2.7 (A) 鋁合金導線製程與(B)銅金屬Dual damascene 製程介紹。 ... 在以往的實驗中，通常利用四點探針量測，來研究觀察阻抗係數.

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