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應用於晶圓級氣體感測器之高效能點測設備開發

(2) 自動光學對位系統；(3)線陣列探針點測裝置；(4) 整合加熱裝置的晶圓吸盤等設計。 ... 種類的量測操作溫度(e.g. 200 °C) 條件下，在晶圓階段進行氣體感測器晶粒的電 ...

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