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微製程概論(IC 及TFT/LCD) - 遠東科技大學

微影製程要素. 1.光源. 2.光罩. 3.光阻及塗佈顯影系統. 4.曝光系統. 微影技術 ... 紅外線光源. 顯微鏡. 對準記號. 螢幕. 光阻. 微影技術. 紅外線對準曝光機基本示意圖 ...

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