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四用氣體偵測器用途
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化合物半導體自動單晶圓灰化製程探索 - 電子工程專輯
灰化(Ashing)就是將稱為光阻劑的光敏塗層從蝕刻好的晶圓上去除並完成清理的過程,是晶片製造中最重要和頻繁執行的步驟之一。此步驟要使用特殊的處理工具「 ...
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