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單光子雪崩二極體
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一种单光子雪崩二极管探测器结构及其制造方法 - Patentscope
本发明结构简单,沿结深垂直方向只有两个PN结,并采用深沟槽结构进行隔离,既能提高雪崩二极管抗边缘击穿能力,也可提高单光子雪崩二极管的工作电压,从而提高光子探测效率 ...
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「單光子雪崩二極體」
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