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半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？ - 吳俊逸的數位歷程檔

答：是在蝕刻室的清凈或更換零件後，為要穩定製程條件，使用仿真（dummy）晶 ... TF包括PVD(物理氣相澱積)、CVD(化學氣相澱積) 、CMP(化學機械研磨)。

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