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台積電智慧製造導入經驗分享 - 臺灣機械工業同業公會

台積電 從2000年開始打造全自動化的十二. 吋廠生產環境，包括：. 機台自動化(Equipment Automation)：自動. 連結製造執行系統與工程控制系統，執行最正.

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