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台積電製程流程
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台積電為何這麼強: 半導體的計算光刻及佈局優化| 誠品線上
全書共7章,內容簡介如下: □ 第1 章是概述,對積體電路設計與製造的流程做簡介。 ... 長期從事半導體光刻設備、材料、軟體和製程研發,取得多項核心技術,發表90多 ...
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