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定錨產業筆記

定錨認為，考量台積電近期透過技術改良，將部份N5/4製程設備轉作N3製程使用，確實 ... 蝕刻製程： 根據微影製程所繪製的電路圖，用六氟丁二烯(C4F6)、四氟化矽(SiF4).

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