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台積電設備博覽會展示逾70件工程師創新作品 - 經濟日報

台積電 今天在中科晶圓15A廠舉辦中科場次的台積設備博覽會， ... 台積電還開發出蝕刻設備電漿全自動清潔及人工智慧影像辨識機器人，未來將取代送洗，有 ...

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